Unitatea de vid este compusă din diferite componente de vid și este un sistem de evacuare fără cameră de vid. Unitățile de vid sunt denumite după pompa principală. În prezent, unitățile de vid de uz casnic includ în principal unități de pompă de difuzie a uleiului, unități de pompă de amplificare a uleiului și Pompă pentru rădăcini unitati.

Pompele principale ale unității de pompare cu vid redus sunt utilizate în mod obișnuit pompe de vid alternative, pompe de vid sigilate cu ulei, pompe cu jet de vapori de apă, pompe cu inel de apă, pompe de adsorbție cu sită moleculară, pompe cu jet de vapori de ulei, pompe Roots etc. Principalele caracteristici ale unitatea de pompare cu vid scăzut este o presiune de lucru mare și un bazin mare de evacuare, dar viteza de pompare este relativ scăzută. Este folosit mai ales pentru pomparea brută a camerelor de vid și transportul în vid, impregnarea în vid, filtrarea în vid, uscare în vid, degazare în vid și alte dispozitive cu eliberare mare de aer și presiune de lucru ridicată. Atunci când se folosește o unitate de extracție cu vid redus, este de asemenea necesar să se potrivească colectoarele de praf, uscătoarele și alte componente necesare în funcție de curățenia, umiditatea sau alte cerințe speciale ale gazului extras.

Unitatea de pompare a uleiului cu vid mediu este utilizată pentru a obține o presiune de lucru de 1~10-1Pa. Gradul final de vid este 10-2Pa. Este alcătuit din pompă de amplificare a uleiului, supapă de vid, capcană, supapă de închidere a vidului scăzut, supapă de eliberare a aerului, conductă, panou de control electric, releu de presiune a apei și alte componente.

Gradul de vid de lucru al unității de pompare Roots cu vid mediu este de 1 ~ 103 Pa. Gradul final de vid este 10-1Pa. Alte componente sunt aceleași ca și unitatea de pompare a uleiului.

Gradul de vid de lucru al unității de pompare cu vid înalt este de 10-2~10-3Pa, iar gradul final de vid este de 10-4Pa. Pompa principală a unității este de obicei o pompă de difuzie a uleiului, o pompă de amplificare a difuziei, o pompă moleculară, o pompă de titan, o pompă de condens la temperatură joasă etc. Aceste pompe nu pot funcționa direct cu atmosfera și necesită o pompă prealabilă sau o pompă de întreținere prealabilă. Unele unități de extracție în vid înalt cu pompă de difuzie sunt, de asemenea, echipate cu un rezervor de stocare a aerului pre-etapă pentru a preveni fluctuațiile presiunii aerului și pentru a îmbunătăți performanța unității.

Unitatea de pompare cu vid ultra-înalt funcționează la 10-6~10-8Pa. În plus față de cerința ca materialul camerei de vid să aibă o rată de degajare foarte scăzută, o rată mică de scurgere a aerului și să reziste la coacere la temperaturi ridicate la 200-450 ℃, cerințele pentru unitate sunt următoarele: vidul final de pompa principală ar trebui să fie înaltă, cel puțin 10-7~ Peste 10-8Pa. Pompa principală are o anumită viteză de pompare în intervalul de presiune de lucru al vidului ultra-înalt. Presiunea parțială a gazului de reflux din pompa principală ar trebui să fie suficient de scăzută; pompa principală cu selectivitate puternică față de gazul de pompat ar trebui să fie echipată cu o pompă auxiliară suficient de mare; selectarea materialului și etanșarea țevilor, supapelor și altor componente de deasupra admisiei de aer a pompei principale a unității. Fiți deosebit de atenți. În general, se utilizează oțel inoxidabil cu o rată mai mică de ieșire a gazului și inele metalice de etanșare.